Chcete-li získat tento dokument, vstupte
přímo do katalogu.
If you want to get more information about the document, enter the
online catalog.
Katalog Vědecké knihovny v Olomouci, báze SVK01, záznam 000027594
Navigace: https://aleph22.vkol.cz/pub / svk01 / 00002xxxx / 0000275xx / 000027594.htm
Chcete-li získat tento dokument, vstupte přímo do katalogu.
If you want to get more information about the document, enter the online catalog.
| ISBN | 3-540-53954-9 (brož) : 711.90 |
| MDT | 621.794:678.84 |
| MDT | 678.84:621.794 |
| Názvové údaje | LPCVD Silicon Nitride and Oxynitride Films : Material and Applications.. / Ed. F. H. P. M. Habraken |
| Nakladatel.údaje | Berlin : Springer, 1991 |
| Údaje fyz.popisu | 10, 159 s |
| Edice-jiná forma | Research Reports ESPRIT. Project 369 |
| Všeobecná pozn. | Bibliogr. na konci kapitol |
| VZ-Osobní jm. | Habraken, F. H. P. M. |
| VZ-Edice-Unif.náz. | Research Reports ESPRIT. Project 369 |
| Sigla,sign.vlastn. | OLA001 584.987 |
| Předmět.hesla | Obvody integrované silikony nitridu a oxynitridu výroba |
| Předmět.hesla | Povlaky silikonové technologie |
| Předmět.hesla | Silikony nitridu a oxynitridu obvody integrované výroba |
| Počet exemplářů | 1 |
Úvodní stránka katalogu.
O úroveň zpět..
© 2007 Ex Libris & Vědecká knihovna v Olomouci - webmaster.