Katalog Vědecké knihovny v Olomouci, báze SVK01, záznam 000027594

Navigace: http://aleph22.vkol.cz/pub / svk01 / 00002xxxx / 0000275xx / 000027594.htm

Chcete-li získat tento dokument, vstupte přímo do katalogu. Získat dokument z katalogu.
If you want to get more information about the document, enter the online catalog. Get the item from catalog.

ISBN3-540-53954-9 (brož) : 711.90
MDT621.794:678.84
MDT678.84:621.794
Názvové údajeLPCVD Silicon Nitride and Oxynitride Films : Material and Applications.. / Ed. F. H. P. M. Habraken
Nakladatel.údajeBerlin : Springer, 1991
Údaje fyz.popisu10, 159 s
Edice-jiná formaResearch Reports ESPRIT. Project 369
Všeobecná pozn.Bibliogr. na konci kapitol
VZ-Osobní jm.Habraken, F. H. P. M.
VZ-Edice-Unif.náz. Research Reports ESPRIT. Project 369
Sigla,sign.vlastn.OLA001 584.987
Předmět.heslaObvody integrované silikony nitridu a oxynitridu výroba
Předmět.heslaPovlaky silikonové technologie
Předmět.heslaSilikony nitridu a oxynitridu obvody integrované výroba
Počet exemplářů1