Katalog Vědecké knihovny v Olomouci, báze SVK01, záznam 000048041

Navigace: https://aleph22.vkol.cz/pub / svk01 / 00004xxxx / 0000480xx / 000048041.htm

Chcete-li získat tento dokument, vstupte přímo do katalogu. Získat dokument z katalogu.
If you want to get more information about the document, enter the online catalog. Get the item from catalog.

ISBN0-444-87448-8 (váz) : bc
MDT621.382:655.2/.3:681.62
Názvové údajeMicrocircuit Engineering : Proceedings of the Internat. Conf. on Microlithography / Ed. by Fritz Paschke
Nakladatel.údajeAmsterdam : North-Holland, 1989
Údaje fyz.popisu653 s
Edice-jiná formaZvl. ot.: Microelectronic Engineering ; 9. 1989
Všeobecná pozn.Bibliogr. na konci kapitol
VZ-Osobní jm.Paschke, Fritz
VZ-Edice-Unif.náz. Zvl. ot.: Microelectronic Engineering
Sigla,sign.vlastn.OLA001 II 858.313
Předmět.heslaMikrolitografie technologie
Předmět.heslaMikroobvody technologie
Počet exemplářů1