Katalog Vědecké knihovny v Olomouci, báze SVK01, záznam 000098308

Navigace: https://aleph.vkol.cz/pub / svk01 / 00009xxxx / 0000983xx / 000098308.htm

Chcete-li získat tento dokument, vstupte přímo do katalogu. Získat dokument z katalogu.
If you want to get more information about the document, enter the online catalog. Get the item from catalog.

ISBN(Brož) : bc
MDT621.3
HZ-Osobní jménoBär, Eberhard
Názvové údajeDreidimensionale Simulation von Schichtabscheideprozessen in der Halbleitertechnologie [disertace]
Nakladatel.údajeErlangen : [vl. nákl.], 1998
Údaje fyz.popisu103 s
Všeobecná pozn.Diss. - Bibliogr. s. 97-101 a na konci kn
Sigla,sign.vlastn.OLA001 789.652
Počet exemplářů1