Katalog Vědecké knihovny v Olomouci, báze SVK01, záznam 000551098

Navigace: https://aleph22.vkol.cz/pub / svk01 / 00055xxxx / 0005510xx / 000551098.htm

Chcete-li získat tento dokument, vstupte přímo do katalogu. Získat dokument z katalogu.
If you want to get more information about the document, enter the online catalog. Get the item from catalog.

ISBN(Brož.)
MDT(043.3)
MDT544.6
MDT547.21/.31
MDT621.38.049.77
MDT661.715/.716
HZ-Osobní jménoMergenthaler, Egon, 1970-
Názvové údajeUntersuchung von organischen fluorierten Kohlenwasserstoff CVD-Plasmaschichten als Intermetalldielektrika in der Mikroelektronik / Egon Mergenthaler
Nakladatel.údaje2001
Údaje fyz.popisu91 s. : il.
Pozn.o disertaciDissertation--Naturwissenschaftliche Fakultät der Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg
Pozn.o bibliogr.Bibliografie na s. 77-88
Předm.-Věc.témaelektrochemie
Předm.-Věc.témamikroelektronika
Předm.-Věc.témauhlovodíky
Žánr/formadisertace
VZ-KorporaceFriedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg. Naturwissenschaftliche Fakultät
Sigla,sign.vlastn.OLA001 1-125.923
Počet exemplářů1

Úvodní stránka katalogu. O úroveň zpět..
© 2007 Ex Libris & Vědecká knihovna v Olomouci - webmaster.