Katalog Vědecké knihovny v Olomouci, báze SVK01, záznam 000750199

Navigace: https://aleph.vkol.cz/pub / svk01 / 00075xxxx / 0007501xx / 000750199.htm

Chcete-li získat tento dokument, vstupte přímo do katalogu. Získat dokument z katalogu.
If you want to get more information about the document, enter the online catalog. Get the item from catalog.

ISBN(brož.)
Kód předm.kateg.537 Elektřina
MDT776
MDT537.311.322
MDT621.315.59
MDT(043.3)
HZ-Osobní jménoKirch, Oliver, 1967-
Názvové údajeUntersuchung speziell hergestellter Photolacke für die Erzeugung von Strukturen kleiner 100 nm mittels Elektronenstrahl-, IPL- und EUV-Lithographie / vorgelegt von Oliver Bernhard Thomas Kirch
Nakladatel.údaje2004
Údaje fyz.popisu129 s. : il. ; 21 cm
Pozn.o disertaciDissertation--Naturwissenschaftliche Fakultät der Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg, 2004
Pozn.o bibliogr.Obsahuje bibliografii
Předm.-Věc.témafotolitografie
Předm.-Věc.témapolovodiče
Žánr/formadisertace
VZ-KorporaceFriedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg. Naturwissenschaftliche Fakultät
Sigla,sign.vlastn.OLA001 1-154.690
Počet exemplářů1

Úvodní stránka katalogu. O úroveň zpět..
© 2007 Ex Libris & Vědecká knihovna v Olomouci - webmaster.