Katalog Vědecké knihovny v Olomouci -- Soustava zrcadel ovládaných tenkým povlakem k použití v optickém projekčním systému a způsob její výroby Thin film actuated mirror array for use in an optical projection system and method for the manufacture thereof -- OLA001 288251

Katalog Vědecké knihovny v Olomouci, báze SVK06, záznam 000288251

Navigace: http://aleph.vkol.cz/pub / svk06 / 00028xxxx / 0002882xx / 000288251.htm

Chcete-li získat tento dokument, vstupte přímo do katalogu.
If you want to get more information about the document, enter the online catalog.

Formát	BK
Návěští	-----nam--22--------450-
Identif.č.záznamu	upv000288251
Datum+čas posl.zpr.	20031107
Všeob.údaje zprac.	19950302d2001----km-y0czey0103----ba
Jazyk popisné jedn.	cze
Země vydání dokum.	CZ
Název a odpovědnost	Soustava zrcadel ovládaných tenkým povlakem k použití v optickém projekčním systému a způsob její výroby Thin film actuated mirror array for use in an optical projection system and method for the manufacture thereof
Nakladatelské údaje	Praha Úřad průmyslového vlastnictví 2001
Obecné poznámky	Datum oznámení zápisu: 19940309
Obecné poznámky	Datum podání přihlášky: 19950302
Obecné poznámky	Datum zveřejnění přihlášky: 20010516
Obecné poznámky	Právo přednosti: KR 1994/9414155
Obecné poznámky	Právo přednosti: KR 1994/944519
Obecné poznámky	Číslo přihlášky: 1996-2621
Anotace, referát	...M x N ovládaných zrcadel. cze
Anotace, referát	...layer, forming a motion-inducing thin film layer on top of each of the signal electrodes, depositing a layer made of an electrically conducting light reflecting material on top of the motion inducing and elastic layers to thereby form a semifinished array of actuated mirror structures, and patterning the semifinished array of actuated mirror structures into an array of M times N actuated mirror structures. eng
Anotace, referát	Soustava (50) M x N ovládaných zrcadel (51) obsahuje aktivní matrici (52), soustavu M x N pružných článků (54), soustavu M x N párů ovládacích struktur (57), soustavu M x N zrcadel (62) a soustavu M x N párů nosných článků (60). Každý pružný článek (54) má distální konec (67) a proximální konec (68), kde proximální konec (68) je opatřen první vystupující částí (71) a druhou vystupující částí (72), které jsou vzájemně odděleny zahloubením (73), a kde distální konec (67) je opatřen výčnělkem (74), přičemž výčnělek (74) každého pružného článku (54) zasahuje do zahloubení (73) následujícího pružného článku (54) v soustavě. Každá z ovládacích struktur (57) je umístěna na první a druhé vystupující části (71 a 72) každého pružného článku (54), přičemž každá ovládací struktura (57) zahrnuje polarizovanou elektrodu (77) a signální elektrodu (76), mezi nimiž je uspořádána tenká vrstva povlaku (75) vyvolávající pohyb. Způsobem podle vynálezu se připraví aktivní matrice s horním povrchem, podkladovou vrstvou, soustavou M x N tranzistorů a soustavou M x N párů propojovacích svorek, dále se na horním povrchu aktivní matrice vytváří pomocná vrstva, dále se odstraní pomocná vrstva, dále se kolem každé propojovací svorky vytváří nosný článek, dále se na horní část pomocné vrstvy a nosných článků nanáší pružná vrstva, dále se vytváří soustava M x N vodičů, dále se uspořádá soustava M x N párů signálních elektrod v horní části pružné vrstvy, dále se na horní části každé signální elektrody vytváří tenká vrstva povlaku vyvolávající pohyb, dále se nanáší vrstva z materiálu elektricky vodivého a odrážejícího světlo na horní část vrstvy vyvolávající pohyb a pružné vrstvy, k vytvoření polotovaru soustavy ovládaných zrcadel, dále se provádí vzorování polotovaru soustavy ovl
Anotace, referát	The invented array (50) of M times N actuated mirrors (51) comprises an active matrix (52), an array of M times N elastic members (54), an array of M times N pairs of actuating structures (57), an array of M times N mirrors (62), and an array of M times A pairs of supporting members (60). Each of the elastic members (60) is provided with a distal (67) and a proximal (68) ends, the proximal end (68) including a first (71) and a second (72) tab portions, the first tab (71) and the second tab (72) portions being separated by a retraction (73) therebetween, the distal end (67) including a protrusion (74), whereby the protrusion (74) from each of the elastic members (54) extends into the retraction (73) of a successive elastic member (54) in the array. Each of the actuating structures (57) is located on the first and the second tab portions (71 and 72) on each of the elastic members (54), respectively, whereby each of the actuating structures (57) includes a bias electrode (77) and a signal electrode (76) and a motion-inducing thin film layer (75) introduced therebetween. The manufacturing process according to the present invention comprises providing an active matrix having a top surface, the active matrix including a substrate, an array of M times N transistors and an array of M times N pairs of connecting terminals on the top surface thereof, further forming a sacrificial layer on the top surface of the active matrix, removing the sacrificial layer surrounding each of the connecting terminals, forming a supporting member around each of the connecting terminals, depositing an elastic layer on top of the sacrificial layer and supporting members, forming an array of M times N pairs of conduits, providing an array of M times N pairs of signal electrodes on top of the elastic... eng
Souběžný název	Thin film actuated mirror array for use in an optical projection system and method for the manufacture thereof
Další system.sel.j.	G 02B 026/08 MPT
Další system.sel.j.	H 01L 027/20 MPT
Další system.sel.j.	H 04N 005/74 MPT
Další system.sel.j.	H 04N 009/31 MPT
Osobní jm.-sekund.o	Ji Jeong-Beom Seoul (KR) p
Osobní jm.-sekund.o	Min Yong-Ki Seoul (KR) p
Korpor.,akce-sek.o.	DAEWOO ELECTRONICS CO., LTD. Seoul (KR) m
Korpor.,akce-sek.o.	PATENTSERVIS PRAHA a.s. Praha 4, Jivenská 1273, 14021 z
Zdroj.pův.katalog.	CZ ÚPV 20010516
Zdroj.pův.katalog.	CZ OLA001 20031107
Sigla,sign.vlastn.	OLA001 288251
Počet exemplářů	1
Logická báze	B6
Katalogizátor	20031107 SVK06 1843
Katalogizátor	20060721 SVK06 1401