Katalog Vědecké knihovny v Olomouci, báze SVK06, záznam 000288846

Navigace: http://aleph.vkol.cz/pub / svk06 / 00028xxxx / 0002888xx / 000288846.htm

Chcete-li získat tento dokument, vstupte přímo do katalogu. Získat dokument z katalogu.
If you want to get more information about the document, enter the online catalog. Get the item from catalog.

FormátBK
Návěští-----nam--22--------450-
Identif.č.záznamuupv000288846
Datum+čas posl.zpr.20031107
Všeob.údaje zprac.19941025d2001----km-y0czey0103----ba
Jazyk popisné jedn.cze
Země vydání dokum.CZ
Název a odpovědnostSoustava ovládaných zrcadel tenkého filmu a způsob její výroby Thin film actuated mirror array and method for the manufacture thereof.
Nakladatelské údajePraha Úřad průmyslového vlastnictví 2001
Obecné poznámkyDatum oznámení zápisu: 19931029
Obecné poznámkyDatum podání přihlášky: 19941025
Obecné poznámkyDatum zveřejnění přihlášky: 20010912
Obecné poznámkyPrávo přednosti: KR 1993/9322798
Obecné poznámkyPrávo přednosti: KR 1993/9324398
Obecné poznámkyPrávo přednosti: KR 1993/9325879
Obecné poznámkyPrávo přednosti: KR 1993/9331720
Obecné poznámkyČíslo přihlášky: 1996-1180
Anotace, referát...mirrors. eng
Anotace, referátIn the present invention there is provided an array (50) of M x N thin film (51) actuated mirrors for use in an optical projection system comprising an active matrix (52), an array of M x N thin film actuating structures (54), each of the thin film actuating structures (54) including at least a thin film layer (66) of a motion-inducing material, a pair of electrodes, each of the electrodes being provided on top and bottom of the thin film motion-inducing layer (66), an array (55) of M x N supporting members (56), each of the supporting members (56) being used for holding each of the actuating structures (54) in place by cantilevering each of the actuating structures (54) and also for electrically connecting each of the actuating structures (54) and the active matrix (52), and the array (50) of M x N mirrors (58) serving for reflecting light beams, wherein each of the mirrors (58) being placed on top of each of the actuating structures(54). A method for manufacturing the above described array comprises the following steps: providing an active matrix (52) having a top and a bottom surfaces, the active matrix including an array of M x N transistors; forming a supporting layer on the top surface of the active matrix (52) and a sacrificial area (83) extending between an actuating structure (54) and the active matrix (52); depositing a first thin film electrode layer (84) on the supporting layer; providing a thin film motion-inducing layer (85) on the first thin film electrode layer (84); forming a second thin film electrode layer (95) on the thin film motion-inducing first layer (85); depositing a mirror layer (99) on the second thin film electrode layer (95); and removing the sacrificial area (83) of the supporting layer to thereby form said array of M x N thin film actuated... eng
Anotace, referátSoustava (50) M x N ovládaných zrcadel tenkého filmu (51), se používá v systému optické projekce, který obsahuje aktivní matrici (52), soustavu M x N ovládacích struktur (54) tenkého filmu, kde každá ovládací struktura (54) zahrnuje alespoň vrstvu (66) tenkého filmu vyvolávající pohyb, pár elektrod, kde každá elektroda je umístěna na horní a spodní vrstvě (66) tenkého filmu vyvolávající pohyb, soustavu (55) M x N podpůrných prvků (56), které se používají pro držení každé ovládací struktury (54) na svém místě tak, že ovládací struktura (54) vyčnívá, a rovněž pro elektrické spojení každé ovládací struktury (54) a aktivní matrice (52) a soustavu (50) M x N zrcadel (58) sloužící k odrazu světelných paprsků, kde každé zrcadlo (58) je umístěno na vrchní straně každé ovládací struktury (54). Způsob výroby takovéto soustavy zahrnuje kroky vytvoření aktivní matrice (52), kde aktivní matrice (52) zahrnuje soustavu M x N tranzistorů, vytvoření podpůrné vrstvy na horním povrchu aktivní matrice (52) a obětované oblasti (83), která je vytvořena mezi ovládací strukturou (54) a aktivní matricí, položení první elektrodové vrstvy (84) tenkého filmu na podpůrnou vrstvu, vytvoření vrstvy (85) tenkého filmu vyvolávající pohyb na první elektrodové vrstvě (84) tenkého filmu, vytvoření druhé elektrodové vrstvy (95) tenkého filmu na první vrstvě (85) tenkého filmu vyvolávající pohyb, položení vrstvy (99) zrcadla na druhou elektrodovou vrstvu (95) tenkého filmu a odstranění obětované oblasti (83) podpůrné vrstvy. cze
Souběžný názevThin film actuated mirror array and method for the manufacture thereof.
Další system.sel.j.G 02B 026/08 MPT
Další system.sel.j.H 04N 005/74 MPT
Další system.sel.j.H 04N 009/31 MPT
Osobní jm.-sekund.oJi Jeong Beom Seoul (KR) p
Osobní jm.-sekund.oKim Dong Kuk Seoul (KR) p
Osobní jm.-sekund.oLee Seok-Won Seoul (KR) p
Korpor.,akce-sek.o.DAEWOO ELECTRONICS CO., LTD. Seoul (KR) m
Korpor.,akce-sek.o.PATENTSERVIS PRAHA a.s. Praha 4, Jivenská 1273, 14021 z
Zdroj.pův.katalog.CZ ÚPV 20010912
Zdroj.pův.katalog.CZ OLA001 20031107
Sigla,sign.vlastn.OLA001 288846
Počet exemplářů1
Logická bázeB6
Katalogizátor20031107 SVK06 1844
Katalogizátor20060721 SVK06 1401