Katalog Vědecké knihovny v Olomouci -- Způsob výroby trubkového terčíku pro katodová rozprašovací zařízení Process for producing tubular target for cathode sputtering unit -- OLA001 298832

Katalog Vědecké knihovny v Olomouci, báze SVK06, záznam 000298832

Navigace: http://aleph.vkol.cz/pub / svk06 / 00029xxxx / 0002988xx / 000298832.htm

Chcete-li získat tento dokument, vstupte přímo do katalogu.
If you want to get more information about the document, enter the online catalog.

Formát	BK
Návěští	-----nam--22--------450-
Identif.č.záznamu	upv000298832
Datum+čas posl.zpr.	20080228
Všeob.údaje zprac.	20011212d2008----km-y0czey0103----ba
Jazyk popisné jedn.	cze
Země vydání dokum.	CZ
Název a odpovědnost	Způsob výroby trubkového terčíku pro katodová rozprašovací zařízení Process for producing tubular target for cathode sputtering unit
Nakladatelské údaje	Praha Úřad průmyslového vlastnictví 2008
Obecné poznámky	Číslo přihlášky: 2001-4459
Obecné poznámky	Datum podání přihlášky: 20011212
Obecné poznámky	Datum zveřejnění přihlášky: 20080220
Anotace, referát	Způsob výroby trubkového terčíku pro katodová rozprašovací zařízení, přičemž trubkový terčík je vytvořen z kovové vnitřní trubky (2) z prvního materiálu s první teplotou T.sub.s1.n. tání .>=. 900 K a z kovové vnější trubky z druhého materiálu s druhou teplotou T.sub.s2.n. tání .<=. 800 K, která vnitřní trubku (2) koncentricky obklopuje, a přičemž vnitřní průměr vnější trubky je se vzájemným tvarovým přizpůsobením a mechanicky pevně spojen s vnějším průměrem vnitřní trubky (2), se provádí tak, že vnější trubka se vytvoří litím druhého materiálu v roztaveném kapalném stavu do vzpřímeně stojící vyhřívané válcové licí kokily (1a), přičemž licí kokila (1a) obsahuje vyhřívaný trn, který se vytvoří z vnitřní trubky (2), přičemž po naplnění prostoru mezi licí kokilou (1a) a vnitřní trubkou (2) roztaveným kapalným druhým materiálem se vytvoří mezi vnitřní trubkou (2) a licí kokilou (1a) první teplotní gradient, mezi dolní stranou a horní stranou licí kokily (1a) se vytvoří druhý teplotní gradient, a přičemž vnější trubka se současně ochlazuje z vnitřku směrem ven a zdola nahoru. Tento způsob je vhodný k výrobě trubkového terčíku pro katodová rozprašovací zařízení s obsahem kyslíku ve vnější trubce .<=. 100.10.sup.-4.n. % a se strukturou, která je složena z tyčinkových krystalů, které jsou uspořádány kolmo k povrchu vnější trubky. cze
Souběžný název	Process for producing tubular target for cathode sputtering unit
Další system.sel.j.	C23C 14/34 MPT
Další system.sel.j.	B22D 19/00 MPT
Osobní jm.-sekund.o	Čermák Karel Národní třída 32, Praha 1 11000 (CZ) z
Osobní jm.-sekund.o	Heck Ralf Hanau (DE) p
Osobní jm.-sekund.o	Jüttner Rainer Hasselroth (DE) p
Osobní jm.-sekund.o	Lupton David Gelnhausen (DE) p
Osobní jm.-sekund.o	Maier Egon Hasselroth (DE) p
Osobní jm.-sekund.o	Mainz Peter Ronneburg (DE) p
Osobní jm.-sekund.o	Manhardt Harald Bruchköbel (DE) p
Osobní jm.-sekund.o	Stenger Bernd Hammersbach (DE) p
Osobní jm.-sekund.o	Zingg Holger Biebergemünd (DE) p
Korpor.,akce-sek.o.	W. C. HERAEUS GMBH & CO. KG Hanau (DE) m
Zdroj.pův.katalog.	CZ ÚPV 20080220
Zdroj.pův.katalog.	CZ OLA001 20080228
Sigla,sign.vlastn.	OLA001 298832
Počet exemplářů	1
Logická báze	B6
Katalogizátor	20080228 SVK06 1024