Katalog Vědecké knihovny v Olomouci, báze SVK06, záznam 000301692

Navigace: http://aleph.vkol.cz/pub / svk06 / 00030xxxx / 0003016xx / 000301692.htm

Chcete-li získat tento dokument, vstupte přímo do katalogu. Získat dokument z katalogu.
If you want to get more information about the document, enter the online catalog. Get the item from catalog.

FormátBK
Návěští-----nam--22--------450-
Identif.č.záznamuupv000301692
Datum+čas posl.zpr.20100601
Všeob.údaje zprac.20090317d2010----km-y0czey0103----ba
Jazyk popisné jedn.cze
Země vydání dokum.CZ
Název a odpovědnostZpůsob optimalizace sestavení a nastavení systému pro odprašování povrchu vzorku fokusovaným iontovým svazkem a pro detekci zpětně difraktovaných elektronů a takto navržený systém Optimization method of assembling and setting system for dust removal from the surface of a sample by focused ion beam and for detecting reversely diffracted electrons and system proposed in such a manner
Nakladatelské údajePraha Úřad průmyslového vlastnictví 2010
Obecné poznámkyČíslo přihlášky: 2009-169
Obecné poznámkyDatum podání přihlášky: 20090317
Obecné poznámkyDatum zveřejnění přihlášky: 20100526
Anotace, referátZpůsob spočívá v tom, že se stanoví úhel (.alfa.), který svírá první směr rastrování (5) s rovinou (7), tak, že tento úhel leží v rozmezí 0.degree. až 90.degree.. V rámci tohoto rozmezí velikostí úhlu (.alfa.) a s ohledem na rozměrové parametry celého systému se určí pomocí konstrukčního softwaru, výpočtem a/nebo graficky taková kombinace úhlu (.alfa.) a polohy detekční plochy (3.2) EBSD detektoru (3), při níž kolmice (4.2) k odprášenému povrchu (4.1) vzorku (4) vedená průsečíkem podélné osy SEM (1.1) tubusu SEM (1) s odprášeným povrchem (4.1) svírá s podélnou osou SEM (1.1) tubusu SEM (1) úhel (.gama.) ležící ve shora otevřeném intervalu (50.degree.; 90.degree.). Zároveň je detekční plocha (3.2) EBSD detektoru (3) orientována do prostorového úhlu s dostatečnou hustotou zpětně difraktovaných elektronů. Takto navržený systém se sestaví a nastaví tak, že EBSD detektor (3) s detekční plochou (3.2) se umístí do zjištěné polohy. V zařízení FIB se pootočí první směr (5) rastrování fokusovaným iontovým svazkem o navržený úhel (.alfa.) vůči rovině (7) pro následnou operaci odprášení povrchové vrstvy pomocí zařízení FIB a následnou detekci zpětně difraktovaných elektronů pomocí EBSD detektoru (3) při neměnné poloze vzorku (4). U systému svírá podélná osa FIB (2.1) tubusu FIB (2) s podélnou osou SEM (1.1) tubusu SEM (1) úhel .beta.=55.degree.. Průměty podélné osy FIB (2.1) a libovolné kolmice (3.1) na detekční plochu (3.2) EBSD detektoru (3) zpětně difraktovaných elektronů do roviny kolmé na podélnou osu SEM (1.1) svírají úhel .fi.=101,8.degree.. Povrch (4.1) vzorku (4) odprášený fokusovaným iontovým svazkem, od jehož povrchové vrstvy... cze
Anotace, referát...jsou detekovány difraktované elektrony, svírá úhel .alfa.=20.degree. s rovinou (7) danou podélnou osou SEM (1.1) a zdrojem iontů na podélné ose FIB (2.1). cze
Souběžný názevOptimization method of assembling and setting system for dust removal from the surface of a sample by focused ion beam and for detecting reversely diffracted electrons and system proposed in such a manner
Další system.sel.j.H01J 37/26 MPT
Další system.sel.j.H01J 37/30 MPT
Osobní jm.-sekund.oDokulilová Silvie Brno (CZ) p
Osobní jm.-sekund.oDušková Hana Na Kočově 180, Chotutice 28103 (CZ) z
Osobní jm.-sekund.oHrnčíř Tomáš Litoměřice (CZ) p
Osobní jm.-sekund.oLopour Filip Brno (CZ) p
Osobní jm.-sekund.oTichopádek Petr Brno (CZ) p
Osobní jm.-sekund.oZadražil Martin Brno (CZ) p
Korpor.,akce-sek.o.TESCAN, s. r. o. Brno (CZ) m
Zdroj.pův.katalog.CZ ÚPV 20100526
Zdroj.pův.katalog.CZ OLA001 20100601
Sigla,sign.vlastn.OLA001 301692
Počet exemplářů1
Logická bázeB6
Katalogizátor20100601 SVK06 0945

Úvodní stránka katalogu. O úroveň zpět..
© 2007 Ex Libris & Vědecká knihovna v Olomouci - webmaster.