Katalog Vědecké knihovny v Olomouci -- Propojovací struktura Interconnect structure -- OLA001 302748

Katalog Vědecké knihovny v Olomouci, báze SVK06, záznam 000302748

Navigace: http://aleph.vkol.cz/pub / svk06 / 00030xxxx / 0003027xx / 000302748.htm

Chcete-li získat tento dokument, vstupte přímo do katalogu.
If you want to get more information about the document, enter the online catalog.

Formát	BK
Návěští	-----nam--22--------450-
Identif.č.záznamu	upv000302748
Datum+čas posl.zpr.	20111101
Všeob.údaje zprac.	20000515d2011----km-y0czey0103----ba
Jazyk popisné jedn.	cze
Země vydání dokum.	CZ
Název a odpovědnost	Propojovací struktura Interconnect structure
Nakladatelské údaje	Praha Úřad průmyslového vlastnictví 2011
Obecné poznámky	Číslo přihlášky: 2001-4145
Obecné poznámky	Datum podání přihlášky: 20000515
Obecné poznámky	Datum zveřejnění přihlášky: 20111019
Anotace, referát	Propojovací struktura, obsahující vrstvu (1) mědi a vrstvu (7) vymezující připojovací plošku, obsahuje dále bariérovou vrstvu (10) a vrstvu (9) AlCu. Vrstva (9) AlCu a bariérová vrstva (10) jsou umístěné mezi vrstvou (1) mědi a vrstvou (7) vymezující připojovací plošku. Bariérová vrstva (10) je umístěna mezi vrstvou (1) mědi a vrstvou (9) AlCu, zajišťující robustní propojení vrstvy (1) mědi a vrstvy (7) vymezující připojovací plošku. Ve výhodném provedení vrstva (9) AlCu obsahuje 96 až 99,5 % atom. hliníku Al, resp. 4 až 0,5 % atom. mědi Cu a její tloušťka je 0,5 až 1,2 .mi.m. Bariérová vrstva (10) může být provedena z titanu Ti, nitridu titanu TiN, tantalu Ta, nitridu tantalu TaN nebo z jejich slitin nebo kombinací. Bariérová vrstva (10) ve výhodném provedení sestává z kombinace jednotlivých vrstev uvedené tloušťky: vrstva nitridu titanu TaN 50 až 1000 A, vrstva titanu Ti 200 až 700 A a vrstva nitridu tantalu TiN 200 až 700 A. cze
Souběžný název	Interconnect structure
Další system.sel.j.	H01L 23/485 MPT
Další system.sel.j.	H01L 21/60 MPT
Další system.sel.j.	H01L 23/532 MPT
Osobní jm.-sekund.o	Edelstein Daniel New Ricgelle (US) p
Osobní jm.-sekund.o	McGahay Vincent Poughkeepsie (US) p
Osobní jm.-sekund.o	Nye Henry Brookfield (US) p
Osobní jm.-sekund.o	Ottey Brian Poughkeepsie (US) p
Osobní jm.-sekund.o	Price William Cortlandt Manor (US) p
Osobní jm.-sekund.o	Všetečka Miloš Hálkova 2, Praha 2 12000 (CZ) z
Korpor.,akce-sek.o.	Invensas Corporation San Jose, 95134 (US) m
Zdroj.pův.katalog.	CZ ÚPV 20111019
Zdroj.pův.katalog.	CZ OLA001 20111101
Sigla,sign.vlastn.	OLA001 302748
Počet exemplářů	1
Logická báze	B6
Katalogizátor	20111101 SVK06 0751